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本设备应用于低压辉光等离子体技术中为等离子体发生器供电。在低压辉光等离子体技术中，通过提供能量激发真空中的气体。会产生高能量的离子和电子，以及其他活性粒子，并形成等离子体，比较典型的应用为：

微喷砂处理：通过离子冲击剥蚀表面。

化学反应：离子化气体与表面发生化学反应。

紫外线辐射：紫外线辐射分解了长链碳化合物。

广泛应用于真空腔壁表面清洗，材料表面改性等领域，例如鞋材行业的粘接，电子行业的柔性电路板制造粘接。